自动化仪表
自動化儀錶
자동화의표
PROCESS AUTOMATION INSTRUMENTATION
2012年
8期
61-63,66
,共4页
三维精密工作台%垂直扫描%表面形貌测量%压电陶瓷驱动器%衍射光栅%伺服电机
三維精密工作檯%垂直掃描%錶麵形貌測量%壓電陶瓷驅動器%衍射光柵%伺服電機
삼유정밀공작태%수직소묘%표면형모측량%압전도자구동기%연사광책%사복전궤
为满足超精密表面形貌测量对工作台的大量程、超精密和三维扫描的要求,设计了一种新型三维精密工作台.工作台由自带计量系统的二维工作台和垂直扫描工作台组成.测量时闭环系统控制二维工作台的位移；同时,Z方向位移执行单元驱动垂直扫描工作台,实现了垂直方向上的精确定位.将研制的工作台与现有的位移传感器组合成表面形貌测量系统,对标准样板的粗糙度进行测量,其测量示值误差均在5％以内.结果表明,所设计的三维精密工作台能够满足使用要求.
為滿足超精密錶麵形貌測量對工作檯的大量程、超精密和三維掃描的要求,設計瞭一種新型三維精密工作檯.工作檯由自帶計量繫統的二維工作檯和垂直掃描工作檯組成.測量時閉環繫統控製二維工作檯的位移；同時,Z方嚮位移執行單元驅動垂直掃描工作檯,實現瞭垂直方嚮上的精確定位.將研製的工作檯與現有的位移傳感器組閤成錶麵形貌測量繫統,對標準樣闆的粗糙度進行測量,其測量示值誤差均在5％以內.結果錶明,所設計的三維精密工作檯能夠滿足使用要求.
위만족초정밀표면형모측량대공작태적대량정、초정밀화삼유소묘적요구,설계료일충신형삼유정밀공작태.공작태유자대계량계통적이유공작태화수직소묘공작태조성.측량시폐배계통공제이유공작태적위이；동시,Z방향위이집행단원구동수직소묘공작태,실현료수직방향상적정학정위.장연제적공작태여현유적위이전감기조합성표면형모측량계통,대표준양판적조조도진행측량,기측량시치오차균재5％이내.결과표명,소설계적삼유정밀공작태능구만족사용요구.
