电子世界
電子世界
전자세계
ELECTRONICS WORLD
2013年
14期
159-159,160
,共2页
罗康%刘林飞%段智勇
囉康%劉林飛%段智勇
라강%류림비%단지용
纳米压印%超声波加热%压缩气体施压%纳米压印腔室
納米壓印%超聲波加熱%壓縮氣體施壓%納米壓印腔室
납미압인%초성파가열%압축기체시압%납미압인강실
纳米压印技术是一种新型的纳米级图形转移技术，纳米压印过程中施压和加热是两个非常重要的工艺过程。文章中设计了新型纳米压印腔室，采用超声波加热代替传统加热方式，利用压缩气体产生的压力施压。超声波加热速度快，温度可控。压缩气体施压压力均匀、设计简单。
納米壓印技術是一種新型的納米級圖形轉移技術，納米壓印過程中施壓和加熱是兩箇非常重要的工藝過程。文章中設計瞭新型納米壓印腔室，採用超聲波加熱代替傳統加熱方式，利用壓縮氣體產生的壓力施壓。超聲波加熱速度快，溫度可控。壓縮氣體施壓壓力均勻、設計簡單。
납미압인기술시일충신형적납미급도형전이기술，납미압인과정중시압화가열시량개비상중요적공예과정。문장중설계료신형납미압인강실，채용초성파가열대체전통가열방식，이용압축기체산생적압력시압。초성파가열속도쾌，온도가공。압축기체시압압력균균、설계간단。
