云南民族大学学报(自然科学版)
雲南民族大學學報(自然科學版)
운남민족대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF YUNNAN UNIVERSITY FOR NATIONALITIES(NATURAL SCIENCES EDITION)
2006年
2期
126-129
,共4页
ZAO薄膜%光学性能%磁控溅射
ZAO薄膜%光學性能%磁控濺射
ZAO박막%광학성능%자공천사
ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜是一种n型半导体,有高的载离子浓度和大的光学禁带宽度,具有优异的电学和光学性能,有极广的应用前景.着重分析了磁控溅射制备参数对光学性能的影响.
ZnO:Al(ZAO)透明導電薄膜是一種n型半導體,有高的載離子濃度和大的光學禁帶寬度,具有優異的電學和光學性能,有極廣的應用前景.著重分析瞭磁控濺射製備參數對光學性能的影響.
ZnO:Al(ZAO)투명도전박막시일충n형반도체,유고적재리자농도화대적광학금대관도,구유우이적전학화광학성능,유겁엄적응용전경.착중분석료자공천사제비삼수대광학성능적영향.