传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1422-1425
,共4页
张永华%丁桂甫%姜政%蔡炳初%赖宗声
張永華%丁桂甫%薑政%蔡炳初%賴宗聲
장영화%정계보%강정%채병초%뢰종성
MEMS%微结构%光刻胶%牺牲层
MEMS%微結構%光刻膠%犧牲層
MEMS%미결구%광각효%희생층
研究了用于制备悬空结构的叠层光刻胶牺牲层工艺.讨论了工艺中常遇到的烘胶汽泡、龟裂、起皱、刻蚀电镀种子层时产生的絮状物和悬空结构释放时的粘附等问题,并提出了相应的解决办法.借助于分层刻蚀法和逐步替换法,用叠层光刻胶作牺牲层并利用湿法释放技术,制备得到了长1400 μm、厚6 μm、宽40 μm、悬空高为10 μm的完好的悬臂梁结构.
研究瞭用于製備懸空結構的疊層光刻膠犧牲層工藝.討論瞭工藝中常遇到的烘膠汽泡、龜裂、起皺、刻蝕電鍍種子層時產生的絮狀物和懸空結構釋放時的粘附等問題,併提齣瞭相應的解決辦法.藉助于分層刻蝕法和逐步替換法,用疊層光刻膠作犧牲層併利用濕法釋放技術,製備得到瞭長1400 μm、厚6 μm、寬40 μm、懸空高為10 μm的完好的懸臂樑結構.
연구료용우제비현공결구적첩층광각효희생층공예.토론료공예중상우도적홍효기포、구렬、기추、각식전도충자층시산생적서상물화현공결구석방시적점부등문제,병제출료상응적해결판법.차조우분층각식법화축보체환법,용첩층광각효작희생층병이용습법석방기술,제비득도료장1400 μm、후6 μm、관40 μm、현공고위10 μm적완호적현비량결구.
