物理学报
物理學報
물이학보
2006年
6期
3152-3156
,共5页
铁电薄膜%Bi3.25La0.75Ti3O12%Sol-Gel工艺
鐵電薄膜%Bi3.25La0.75Ti3O12%Sol-Gel工藝
철전박막%Bi3.25La0.75Ti3O12%Sol-Gel공예
采用Sol-Gel工艺低温制备了Si基Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜.研究了退火温度对薄膜微观结构、介电特性与铁电性能的影响.500℃退火处理的Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜未能充分晶化,晶粒细小且有非晶团聚,介电与铁电性能均较差.高于550℃退火处理的Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜表面平整无裂纹,晶粒均匀,无焦碌石相或其他杂相,薄膜为多晶生长,具有较好的介电与铁电性能,4V电压下的漏电流密度低于2×10-8A/cm2.随退火温度升高,晶化程度的提升和晶粒尺寸的增大使薄膜的剩余极化增大而矫顽电场降低.600℃退火处理的Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜显示了优于Bi4Ti3O12薄膜的铁电性能,其剩余极化Pr和矫顽电场Ec分别达到17.5μC/cm2和102kV/cm.
採用Sol-Gel工藝低溫製備瞭Si基Bi3.25La0.75Ti3O12鐵電薄膜.研究瞭退火溫度對薄膜微觀結構、介電特性與鐵電性能的影響.500℃退火處理的Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜未能充分晶化,晶粒細小且有非晶糰聚,介電與鐵電性能均較差.高于550℃退火處理的Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜錶麵平整無裂紋,晶粒均勻,無焦碌石相或其他雜相,薄膜為多晶生長,具有較好的介電與鐵電性能,4V電壓下的漏電流密度低于2×10-8A/cm2.隨退火溫度升高,晶化程度的提升和晶粒呎吋的增大使薄膜的剩餘極化增大而矯頑電場降低.600℃退火處理的Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜顯示瞭優于Bi4Ti3O12薄膜的鐵電性能,其剩餘極化Pr和矯頑電場Ec分彆達到17.5μC/cm2和102kV/cm.
채용Sol-Gel공예저온제비료Si기Bi3.25La0.75Ti3O12철전박막.연구료퇴화온도대박막미관결구、개전특성여철전성능적영향.500℃퇴화처리적Bi3.25La0.75Ti3O12박막미능충분정화,정립세소차유비정단취,개전여철전성능균교차.고우550℃퇴화처리적Bi3.25La0.75Ti3O12박막표면평정무렬문,정립균균,무초록석상혹기타잡상,박막위다정생장,구유교호적개전여철전성능,4V전압하적루전류밀도저우2×10-8A/cm2.수퇴화온도승고,정화정도적제승화정립척촌적증대사박막적잉여겁화증대이교완전장강저.600℃퇴화처리적Bi3.25La0.75Ti3O12박막현시료우우Bi4Ti3O12박막적철전성능,기잉여겁화Pr화교완전장Ec분별체도17.5μC/cm2화102kV/cm.
