影像科学与光化学
影像科學與光化學
영상과학여광화학
IMAGING SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2008年
2期
116-124
,共9页
单英敏%曹瑞军%高颖%刘毅
單英敏%曹瑞軍%高穎%劉毅
단영민%조서군%고영%류의
丙烯酰胺-双丙酮丙烯酰胺共聚物%聚乙烯吡咯烷酮%水溶性负性光致抗蚀剂
丙烯酰胺-雙丙酮丙烯酰胺共聚物%聚乙烯吡咯烷酮%水溶性負性光緻抗蝕劑
병희선알-쌍병동병희선알공취물%취을희필각완동%수용성부성광치항식제
以自制丙烯酰胺.双丙酮丙烯酰胺共聚物和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为成膜基体物质,芳香族叠氮化合物为感光荆,研制出水溶性负性光致抗蚀剂配方.通过正交试验确定了最优配方.即共聚物中AM与DAAM质量比为1:1;P(AM-DAAM)与PVP质量比为1:2;感光剂用量为占成膜基体物质质量的1/6;偶联剂用量占成膜基体物质质量的1/60;表面活性剂G-18用量占成膜基体物质质量的1/40.在该配方下配制的光致抗蚀剂达到商品规格要求.通过与国外同类商品的比较得出自制光致抗蚀剂具有同国外商品相当的感光性能.
以自製丙烯酰胺.雙丙酮丙烯酰胺共聚物和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)為成膜基體物質,芳香族疊氮化閤物為感光荊,研製齣水溶性負性光緻抗蝕劑配方.通過正交試驗確定瞭最優配方.即共聚物中AM與DAAM質量比為1:1;P(AM-DAAM)與PVP質量比為1:2;感光劑用量為佔成膜基體物質質量的1/6;偶聯劑用量佔成膜基體物質質量的1/60;錶麵活性劑G-18用量佔成膜基體物質質量的1/40.在該配方下配製的光緻抗蝕劑達到商品規格要求.通過與國外同類商品的比較得齣自製光緻抗蝕劑具有同國外商品相噹的感光性能.
이자제병희선알.쌍병동병희선알공취물화취을희필각완동(PVP)위성막기체물질,방향족첩담화합물위감광형,연제출수용성부성광치항식제배방.통과정교시험학정료최우배방.즉공취물중AM여DAAM질량비위1:1;P(AM-DAAM)여PVP질량비위1:2;감광제용량위점성막기체물질질량적1/6;우련제용량점성막기체물질질량적1/60;표면활성제G-18용량점성막기체물질질량적1/40.재해배방하배제적광치항식제체도상품규격요구.통과여국외동류상품적비교득출자제광치항식제구유동국외상품상당적감광성능.
