金属热处理
金屬熱處理
금속열처리
HEAT TREATMENT OF METALS
2008年
8期
83-85
,共3页
徐俊波%池成忠%陈良贤%纪殿友%李成明%吕反修
徐俊波%池成忠%陳良賢%紀殿友%李成明%呂反脩
서준파%지성충%진량현%기전우%리성명%려반수
纳米多层膜%力学性能%调制周期
納米多層膜%力學性能%調製週期
납미다층막%역학성능%조제주기
采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌.结果表明,在调制周期为30 nm时,纳米硬度达到38 GPa.
採用非對稱雙極脈遲磁控濺射製備瞭一繫列不同調製週期的TiN/ZrN納米多層膜,利用X射線衍射分析(XRD)、納米壓痕儀、掃描電子顯微鏡(SEM)錶徵瞭薄膜的微觀結構、力學性能和斷口形貌.結果錶明,在調製週期為30 nm時,納米硬度達到38 GPa.
채용비대칭쌍겁맥충자공천사제비료일계렬불동조제주기적TiN/ZrN납미다층막,이용X사선연사분석(XRD)、납미압흔의、소묘전자현미경(SEM)표정료박막적미관결구、역학성능화단구형모.결과표명,재조제주기위30 nm시,납미경도체도38 GPa.
