核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2009年
7期
521-524
,共4页
宋斌斌%吴平%周多文%闫丹%赵以德%赵守田%张师平%陈森
宋斌斌%吳平%週多文%閆丹%趙以德%趙守田%張師平%陳森
송빈빈%오평%주다문%염단%조이덕%조수전%장사평%진삼
射频磁控溅射%氧化铪%X射线衍射%绝缘涂层
射頻磁控濺射%氧化鉿%X射線衍射%絕緣塗層
사빈자공천사%양화협%X사선연사%절연도층
本文采用射频磁控溅射法在不同氧氩比下制备氧化铪涂层.研究了涂层的沉积速率、表面形貌、微观结构和电绝缘特性随氧氩比的变化.结果表明用此方法在低活化马氏体钢上制备的氧化铪涂层表面致密、无明显孔洞;低活化马氏体钢为衬底时涂层较易结晶为以单斜相为主的晶体结构;且涂层的绝缘特性受氧氩比影响较大,氧氩比为0.7和1.2下制备的涂层击穿场强小于1 MV/cm,电绝缘特性较差,在较低氧氩比下制备的涂层有较理想的绝缘性能.
本文採用射頻磁控濺射法在不同氧氬比下製備氧化鉿塗層.研究瞭塗層的沉積速率、錶麵形貌、微觀結構和電絕緣特性隨氧氬比的變化.結果錶明用此方法在低活化馬氏體鋼上製備的氧化鉿塗層錶麵緻密、無明顯孔洞;低活化馬氏體鋼為襯底時塗層較易結晶為以單斜相為主的晶體結構;且塗層的絕緣特性受氧氬比影響較大,氧氬比為0.7和1.2下製備的塗層擊穿場彊小于1 MV/cm,電絕緣特性較差,在較低氧氬比下製備的塗層有較理想的絕緣性能.
본문채용사빈자공천사법재불동양아비하제비양화협도층.연구료도층적침적속솔、표면형모、미관결구화전절연특성수양아비적변화.결과표명용차방법재저활화마씨체강상제비적양화협도층표면치밀、무명현공동;저활화마씨체강위츤저시도층교역결정위이단사상위주적정체결구;차도층적절연특성수양아비영향교대,양아비위0.7화1.2하제비적도층격천장강소우1 MV/cm,전절연특성교차,재교저양아비하제비적도층유교이상적절연성능.
