光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
1期
17-22
,共6页
马小军%高党忠%杨蒙生%赵学森%叶成钢%唐永建
馬小軍%高黨忠%楊矇生%趙學森%葉成鋼%唐永建
마소군%고당충%양몽생%조학삼%협성강%당영건
白光共焦光谱%金属薄膜%膜厚测量%惯性约束聚变
白光共焦光譜%金屬薄膜%膜厚測量%慣性約束聚變
백광공초광보%금속박막%막후측량%관성약속취변
为了精确测量自支撑金属薄膜厚度及其厚度分布,提出了基于白光共焦光谱传感器的金属薄膜厚度测量技术.介绍了该技术的测量原理及系统结构,研究了系统的测量不确定度.利用相向对顶安装的白光共焦传感器组、精密位移平台并结合自制的薄膜厚度校准样品,实现了对厚度为10～100 μm的自支撑金属薄膜的厚度及厚度分布的精确测量;通过研究系统的传感器测量不确定度、薄膜厚度校准样品不确定度、上下传感器安装误差及系统重复性测量误差,获得了系统的测量不确定度数据.试验结果表明,该系统的测量不确定度在0.12 μm左右,基本满足惯性约束聚变(ICF)靶参数测量所需的稳定性好、测量精度高、非破坏性测量等要求.
為瞭精確測量自支撐金屬薄膜厚度及其厚度分佈,提齣瞭基于白光共焦光譜傳感器的金屬薄膜厚度測量技術.介紹瞭該技術的測量原理及繫統結構,研究瞭繫統的測量不確定度.利用相嚮對頂安裝的白光共焦傳感器組、精密位移平檯併結閤自製的薄膜厚度校準樣品,實現瞭對厚度為10～100 μm的自支撐金屬薄膜的厚度及厚度分佈的精確測量;通過研究繫統的傳感器測量不確定度、薄膜厚度校準樣品不確定度、上下傳感器安裝誤差及繫統重複性測量誤差,穫得瞭繫統的測量不確定度數據.試驗結果錶明,該繫統的測量不確定度在0.12 μm左右,基本滿足慣性約束聚變(ICF)靶參數測量所需的穩定性好、測量精度高、非破壞性測量等要求.
위료정학측량자지탱금속박막후도급기후도분포,제출료기우백광공초광보전감기적금속박막후도측량기술.개소료해기술적측량원리급계통결구,연구료계통적측량불학정도.이용상향대정안장적백광공초전감기조、정밀위이평태병결합자제적박막후도교준양품,실현료대후도위10～100 μm적자지탱금속박막적후도급후도분포적정학측량;통과연구계통적전감기측량불학정도、박막후도교준양품불학정도、상하전감기안장오차급계통중복성측량오차,획득료계통적측량불학정도수거.시험결과표명,해계통적측량불학정도재0.12 μm좌우,기본만족관성약속취변(ICF)파삼수측량소수적은정성호、측량정도고、비파배성측량등요구.
