强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
12期
3229-3234
,共6页
宋伟红%伍凡%侯溪%杨鹏
宋偉紅%伍凡%侯溪%楊鵬
송위홍%오범%후계%양붕
光学检测%平移旋转法%球面绝对检测%高精度面形检测
光學檢測%平移鏇轉法%毬麵絕對檢測%高精度麵形檢測
광학검측%평이선전법%구면절대검측%고정도면형검측
基于平移旋转的球面绝对检测技术是一种实现高精度面形测量的有效手段.通过绕光轴多次等角度旋转被测球面测得被测面面形误差的旋转非对称部分,并由共心平移被测球面恢复出被测面面形误差的旋转对称部分,合成即可得到被测球面完整的面形信息.详细推导了平移旋转法的理论公式,并进行了仿真分析.仿真结果表明,基于上述方法获得的被测球面面形误差与初始面形误差残差图的均方根值为5.3000×10-12nm,其与初始面形误差均方根值的比值为1.1641×10-12,理论误差极小,满足高精度面形检测要求.
基于平移鏇轉的毬麵絕對檢測技術是一種實現高精度麵形測量的有效手段.通過繞光軸多次等角度鏇轉被測毬麵測得被測麵麵形誤差的鏇轉非對稱部分,併由共心平移被測毬麵恢複齣被測麵麵形誤差的鏇轉對稱部分,閤成即可得到被測毬麵完整的麵形信息.詳細推導瞭平移鏇轉法的理論公式,併進行瞭倣真分析.倣真結果錶明,基于上述方法穫得的被測毬麵麵形誤差與初始麵形誤差殘差圖的均方根值為5.3000×10-12nm,其與初始麵形誤差均方根值的比值為1.1641×10-12,理論誤差極小,滿足高精度麵形檢測要求.
기우평이선전적구면절대검측기술시일충실현고정도면형측량적유효수단.통과요광축다차등각도선전피측구면측득피측면면형오차적선전비대칭부분,병유공심평이피측구면회복출피측면면형오차적선전대칭부분,합성즉가득도피측구면완정적면형신식.상세추도료평이선전법적이론공식,병진행료방진분석.방진결과표명,기우상술방법획득적피측구면면형오차여초시면형오차잔차도적균방근치위5.3000×10-12nm,기여초시면형오차균방근치적비치위1.1641×10-12,이론오차겁소,만족고정도면형검측요구.
