传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2005年
5期
74-76
,共3页
压阻效应%桥式压阻器件%气压测量
壓阻效應%橋式壓阻器件%氣壓測量
압조효응%교식압조기건%기압측량
介绍了桥式硅压阻器件的工作原理、性能指标和工作特点.通过设计实例说明了压阻器件的应用方法.试验证明:这种气压器件精度高、测量范围宽、体积和普通IC芯片相同、价格低,可以广泛应用在各种气压测量和控制领域.
介紹瞭橋式硅壓阻器件的工作原理、性能指標和工作特點.通過設計實例說明瞭壓阻器件的應用方法.試驗證明:這種氣壓器件精度高、測量範圍寬、體積和普通IC芯片相同、價格低,可以廣汎應用在各種氣壓測量和控製領域.
개소료교식규압조기건적공작원리、성능지표화공작특점.통과설계실례설명료압조기건적응용방법.시험증명:저충기압기건정도고、측량범위관、체적화보통IC심편상동、개격저,가이엄범응용재각충기압측량화공제영역.
