安徽冶金科技职业学院学报
安徽冶金科技職業學院學報
안휘야금과기직업학원학보
JOURNAL OF ANHUI VOCATIONAL COLLEGE OF METALLURGY AND TECHNOLOGY
2006年
3期
11-14
,共4页
高能束%气相沉积%薄膜
高能束%氣相沉積%薄膜
고능속%기상침적%박막
在新型薄膜材料的制备中,利用高能量密度的激光束、离子束等作为热源,辅助和诱导气相反应制备薄膜材料,克服了普通化学气相沉积和物理气相沉积超硬薄膜材料性能上的不足,显著地提高了薄膜的沉积效果.
在新型薄膜材料的製備中,利用高能量密度的激光束、離子束等作為熱源,輔助和誘導氣相反應製備薄膜材料,剋服瞭普通化學氣相沉積和物理氣相沉積超硬薄膜材料性能上的不足,顯著地提高瞭薄膜的沉積效果.
재신형박막재료적제비중,이용고능량밀도적격광속、리자속등작위열원,보조화유도기상반응제비박막재료,극복료보통화학기상침적화물리기상침적초경박막재료성능상적불족,현저지제고료박막적침적효과.
