光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2006年
4期
648-651
,共4页
孙晓锋%杨志强%刘晓论%李欣欣%林敬国
孫曉鋒%楊誌彊%劉曉論%李訢訢%林敬國
손효봉%양지강%류효론%리흔흔%림경국
压电泵%双腔串联%被动截止阀
壓電泵%雙腔串聯%被動截止閥
압전빙%쌍강천련%피동절지벌
设计了两种形式的被动截止薄膜阀一整体开启阀与悬臂梁阀,对两种形式阀的过流特性进行了理论分析,并应用两种形式的阀体制成了双腔串联压电泵的样机.对样机的实验测试表明,整体开启阀压电泵的自吸能力和输出流量都要好于悬臂梁阀压电泵.在200V交流电压驱动下,前者的最大自吸高度和输出流量分别为430 mm水柱和972 ml/min,而后者为410 mm水柱和480 ml/min.
設計瞭兩種形式的被動截止薄膜閥一整體開啟閥與懸臂樑閥,對兩種形式閥的過流特性進行瞭理論分析,併應用兩種形式的閥體製成瞭雙腔串聯壓電泵的樣機.對樣機的實驗測試錶明,整體開啟閥壓電泵的自吸能力和輸齣流量都要好于懸臂樑閥壓電泵.在200V交流電壓驅動下,前者的最大自吸高度和輸齣流量分彆為430 mm水柱和972 ml/min,而後者為410 mm水柱和480 ml/min.
설계료량충형식적피동절지박막벌일정체개계벌여현비량벌,대량충형식벌적과류특성진행료이론분석,병응용량충형식적벌체제성료쌍강천련압전빙적양궤.대양궤적실험측시표명,정체개계벌압전빙적자흡능력화수출류량도요호우현비량벌압전빙.재200V교류전압구동하,전자적최대자흡고도화수출류량분별위430 mm수주화972 ml/min,이후자위410 mm수주화480 ml/min.
