微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
6期
28-31
,共4页
乔治%许宝建%周洪波%金庆辉%赵建龙
喬治%許寶建%週洪波%金慶輝%趙建龍
교치%허보건%주홍파%금경휘%조건룡
微喷芯片%PZT驱动器%回流%CFD模拟
微噴芯片%PZT驅動器%迴流%CFD模擬
미분심편%PZT구동기%회류%CFD모의
设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采用计算流体力学模拟(CFD-simulation)对其进行了结构设计、进样模拟和喷样模拟,结果表明,液体能成功进样及喷样.同时当微管道尺寸小于40 μm时,喷样过程中微管道内将不再产生回流,证明双PZT驱动器的芯片设计合理,为该芯片的制作打下基础.
設計瞭一種基于雙壓電薄膜驅動的微噴芯片,該芯片中每箇流體單元結構主要是由進樣室、微管道、噴口以及集成瞭PZT驅動器的主副貯液室組成,其中主驅動器提供噴射液體的驅動力,副驅動器抑製液體迴流;採用計算流體力學模擬(CFD-simulation)對其進行瞭結構設計、進樣模擬和噴樣模擬,結果錶明,液體能成功進樣及噴樣.同時噹微管道呎吋小于40 μm時,噴樣過程中微管道內將不再產生迴流,證明雙PZT驅動器的芯片設計閤理,為該芯片的製作打下基礎.
설계료일충기우쌍압전박막구동적미분심편,해심편중매개류체단원결구주요시유진양실、미관도、분구이급집성료PZT구동기적주부저액실조성,기중주구동기제공분사액체적구동력,부구동기억제액체회류;채용계산류체역학모의(CFD-simulation)대기진행료결구설계、진양모의화분양모의,결과표명,액체능성공진양급분양.동시당미관도척촌소우40 μm시,분양과정중미관도내장불재산생회류,증명쌍PZT구동기적심편설계합리,위해심편적제작타하기출.
