光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
2期
255-258
,共4页
邓洪有%饶云江%冉曾令%廖弦%刘为俊
鄧洪有%饒雲江%冉曾令%廖絃%劉為俊
산홍유%요운강%염증령%료현%류위준
光纤光学%光纤法布里-珀罗腔%激光微加工%应变传感器%光子晶体光纤
光纖光學%光纖法佈裏-珀囉腔%激光微加工%應變傳感器%光子晶體光纖
광섬광학%광섬법포리-박라강%격광미가공%응변전감기%광자정체광섬
157 nm准分子激光用于微加工具有单光子能量高,峰值功率高,材料吸收系数高,分辨率高等优点.利用157 nm激光微加工的方法,在光子晶体光纤上融切出微小矩形孔,从而构成腔长为45.6 μm的微光纤法布里-珀罗干涉腔,得到的干涉条纹平滑,衬比度约为26 dB,并从激光与石英材料的相互作用上分析了形成较好干涉条纹的原因.把这种微腔应用于应变测量,在550 μm范围内,腔长增量相对于应变的灵敏度为0.32 nm/μm,线形度达0.9994.实验证明该微腔对温度不敏感,800℃范围内腔长变化仅20 nm.157 nm准分子激光加工光纤法布里-珀罗腔方法简单,一次成型,具有较高的加工效率和精度,有望实现光纤法布里-珀罗腔的规模化批量制造,具有较好的应用前景.
157 nm準分子激光用于微加工具有單光子能量高,峰值功率高,材料吸收繫數高,分辨率高等優點.利用157 nm激光微加工的方法,在光子晶體光纖上融切齣微小矩形孔,從而構成腔長為45.6 μm的微光纖法佈裏-珀囉榦涉腔,得到的榦涉條紋平滑,襯比度約為26 dB,併從激光與石英材料的相互作用上分析瞭形成較好榦涉條紋的原因.把這種微腔應用于應變測量,在550 μm範圍內,腔長增量相對于應變的靈敏度為0.32 nm/μm,線形度達0.9994.實驗證明該微腔對溫度不敏感,800℃範圍內腔長變化僅20 nm.157 nm準分子激光加工光纖法佈裏-珀囉腔方法簡單,一次成型,具有較高的加工效率和精度,有望實現光纖法佈裏-珀囉腔的規模化批量製造,具有較好的應用前景.
157 nm준분자격광용우미가공구유단광자능량고,봉치공솔고,재료흡수계수고,분변솔고등우점.이용157 nm격광미가공적방법,재광자정체광섬상융절출미소구형공,종이구성강장위45.6 μm적미광섬법포리-박라간섭강,득도적간섭조문평활,츤비도약위26 dB,병종격광여석영재료적상호작용상분석료형성교호간섭조문적원인.파저충미강응용우응변측량,재550 μm범위내,강장증량상대우응변적령민도위0.32 nm/μm,선형도체0.9994.실험증명해미강대온도불민감,800℃범위내강장변화부20 nm.157 nm준분자격광가공광섬법포리-박라강방법간단,일차성형,구유교고적가공효솔화정도,유망실현광섬법포리-박라강적규모화비량제조,구유교호적응용전경.
