物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2008年
6期
12-17
,共6页
孙方华%李清山%梁得春%宗垒
孫方華%李清山%樑得春%宗壘
손방화%리청산%량득춘%종루
ZAO薄膜%溶胶-凝胶%后退火%X射线衍射
ZAO薄膜%溶膠-凝膠%後退火%X射線衍射
ZAO박막%용효-응효%후퇴화%X사선연사
采用溶胶-凝胶旋转涂敷方法在普通玻璃衬底上生长ZAO薄膜.每涂敷1层薄膜,都要在一定的温度下对薄膜进行1次热处理,连续涂敷7层,最后再对部分薄膜在600℃的马弗炉中退火2h.采用X射线衍射和薄膜电阻率分别来表征涂敷薄膜的结构特征和电学特性.实验结果表明:每次涂敷薄膜后所设定温度的大小以及最后是否再对薄膜进行退火处理直接影响着制备薄膜的结构特征和电学性质.
採用溶膠-凝膠鏇轉塗敷方法在普通玻璃襯底上生長ZAO薄膜.每塗敷1層薄膜,都要在一定的溫度下對薄膜進行1次熱處理,連續塗敷7層,最後再對部分薄膜在600℃的馬弗爐中退火2h.採用X射線衍射和薄膜電阻率分彆來錶徵塗敷薄膜的結構特徵和電學特性.實驗結果錶明:每次塗敷薄膜後所設定溫度的大小以及最後是否再對薄膜進行退火處理直接影響著製備薄膜的結構特徵和電學性質.
채용용효-응효선전도부방법재보통파리츤저상생장ZAO박막.매도부1층박막,도요재일정적온도하대박막진행1차열처리,련속도부7층,최후재대부분박막재600℃적마불로중퇴화2h.채용X사선연사화박막전조솔분별래표정도부박막적결구특정화전학특성.실험결과표명:매차도부박막후소설정온도적대소이급최후시부재대박막진행퇴화처리직접영향착제비박막적결구특정화전학성질.
