人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
5期
1233-1236
,共4页
等离子刻蚀%碳纳米管聚合物复合膜%电阻
等離子刻蝕%碳納米管聚閤物複閤膜%電阻
등리자각식%탄납미관취합물복합막%전조
本文研究了等离子刻蚀碳纳米管(CNTs)聚合物复合膜的工艺,并采用测量接触电阻表征薄膜的刻蚀效果.用SEM对刻蚀前后的试样膜面进行了观测.结果表明电压为100 V,电流为0.52 A时可以有效地刻蚀掉在制备无衬底碳纳米管膜时附在其上的粘胶剂和聚合物.且刻蚀前后碳纳米管复合膜的电阻有很大变化,从110.2Ω降至8.4Ω.
本文研究瞭等離子刻蝕碳納米管(CNTs)聚閤物複閤膜的工藝,併採用測量接觸電阻錶徵薄膜的刻蝕效果.用SEM對刻蝕前後的試樣膜麵進行瞭觀測.結果錶明電壓為100 V,電流為0.52 A時可以有效地刻蝕掉在製備無襯底碳納米管膜時附在其上的粘膠劑和聚閤物.且刻蝕前後碳納米管複閤膜的電阻有很大變化,從110.2Ω降至8.4Ω.
본문연구료등리자각식탄납미관(CNTs)취합물복합막적공예,병채용측량접촉전조표정박막적각식효과.용SEM대각식전후적시양막면진행료관측.결과표명전압위100 V,전류위0.52 A시가이유효지각식도재제비무츤저탄납미관막시부재기상적점효제화취합물.차각식전후탄납미관복합막적전조유흔대변화,종110.2Ω강지8.4Ω.
