山东建筑大学学报
山東建築大學學報
산동건축대학학보
JOURNAL OF SHANDONG JIANZHU UNIVERSITY
2010年
4期
382-385
,共4页
霍庆松%张宁玉%付刚%李爽%刘小村%韩利新%张玉华
霍慶鬆%張寧玉%付剛%李爽%劉小村%韓利新%張玉華
곽경송%장저옥%부강%리상%류소촌%한리신%장옥화
ZnO薄膜%磁控溅射%原子力显微镜%表面形貌
ZnO薄膜%磁控濺射%原子力顯微鏡%錶麵形貌
ZnO박막%자공천사%원자력현미경%표면형모
在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下,采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜.利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响.研究表明:在Si衬底上生长的ZnO薄膜,压强为0.7Pa时比压强为0.5Pa时表面粗糙度要大;在相同溅射气压(0.7Pa)下,Si衬底上得到的ZnO薄膜质量明显优于石英玻璃衬底上的.
在壓彊為0.5Pa和0.7Pa的情況下,採用磁控濺射法分彆在Si及石英玻璃襯底上生長ZnO薄膜.利用原子力顯微鏡對ZnO薄膜的錶麵形貌進行觀察,研究瞭壓彊及襯底對薄膜錶麵形貌的影響.研究錶明:在Si襯底上生長的ZnO薄膜,壓彊為0.7Pa時比壓彊為0.5Pa時錶麵粗糙度要大;在相同濺射氣壓(0.7Pa)下,Si襯底上得到的ZnO薄膜質量明顯優于石英玻璃襯底上的.
재압강위0.5Pa화0.7Pa적정황하,채용자공천사법분별재Si급석영파리츤저상생장ZnO박막.이용원자력현미경대ZnO박막적표면형모진행관찰,연구료압강급츤저대박막표면형모적영향.연구표명:재Si츤저상생장적ZnO박막,압강위0.7Pa시비압강위0.5Pa시표면조조도요대;재상동천사기압(0.7Pa)하,Si츤저상득도적ZnO박막질량명현우우석영파리츤저상적.
