太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2012年
5期
802-805
,共4页
邱深玉%李样生%余方新%刘桂华%陈楠
邱深玉%李樣生%餘方新%劉桂華%陳楠
구심옥%리양생%여방신%류계화%진남
多晶硅%线状缺陷%线切割%夹杂物%太阳能
多晶硅%線狀缺陷%線切割%夾雜物%太暘能
다정규%선상결함%선절할%협잡물%태양능
研究了定向凝固生长的多晶硅线切割过程中在多晶硅片表面产生的线状缺陷的形貌特征及其形成机制.分别采用扫描电子显微技术和X射线衍射技术对多晶硅片线切割引起的线状缺陷的形貌特征及夹杂物进行研究,结果表明:多晶硅片表面线切割过程中形成的线状缺陷是因SiC夹杂物的存在而引起的,当切割钢丝与多晶硅中的SiC夹杂物相遇时,在拉力作用下钢丝爬越SiC夹杂物,同时在SiC夹杂物的表面发生研磨现象,在多晶硅片表面留下线状缺陷.
研究瞭定嚮凝固生長的多晶硅線切割過程中在多晶硅片錶麵產生的線狀缺陷的形貌特徵及其形成機製.分彆採用掃描電子顯微技術和X射線衍射技術對多晶硅片線切割引起的線狀缺陷的形貌特徵及夾雜物進行研究,結果錶明:多晶硅片錶麵線切割過程中形成的線狀缺陷是因SiC夾雜物的存在而引起的,噹切割鋼絲與多晶硅中的SiC夾雜物相遇時,在拉力作用下鋼絲爬越SiC夾雜物,同時在SiC夾雜物的錶麵髮生研磨現象,在多晶硅片錶麵留下線狀缺陷.
연구료정향응고생장적다정규선절할과정중재다정규편표면산생적선상결함적형모특정급기형성궤제.분별채용소묘전자현미기술화X사선연사기술대다정규편선절할인기적선상결함적형모특정급협잡물진행연구,결과표명:다정규편표면선절할과정중형성적선상결함시인SiC협잡물적존재이인기적,당절할강사여다정규중적SiC협잡물상우시,재랍력작용하강사파월SiC협잡물,동시재SiC협잡물적표면발생연마현상,재다정규편표면류하선상결함.
