镍表面三维微图形的复制加工
얼표면삼유미도형적복제가공
Chemical Microetching of Three-dimensional Gear-like Pattern on Nickel Surface
  • 万方数据
    电化学 전화학

    2004年 3期 249-253 ,共5页

    刘柱方%蒋利民%汤儆%张力%田中群%田昭武%刘品宽%孙立宁

    류주방%장이민%탕경%장력%전중군%전소무%류품관%손립저

    约束刻蚀剂层技术%镍%三维微加工%化学刻蚀%电化学 約束刻蝕劑層技術%鎳%三維微加工%化學刻蝕%電化學
    약속각식제층기술%얼%삼유미가공%화학각식%전화학
    运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工, 以规整的三维齿状微结构作模板, 获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系,在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维微结构并应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征刻蚀图案,证实CELT可用于金属表面Ni的三维微图形刻蚀加工.
    운용약속각식제층기술(CELT)재금속얼(Ni)표면실현삼유미도형가공, 이규정적삼유치상미결구작모판, 획득가유효CELT가공적화학각식화포착체계,재Ni표면득도료여치상결구호보적삼유미결구병응용소묘전자현미경(SEM)화원자력현미경(AFM)표정각식도안,증실CELT가용우금속표면Ni적삼유미도형각식가공.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문