电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2004年
9期
58-62
,共5页
离轴对准%基准标记%同轴对准%增强式选场对准
離軸對準%基準標記%同軸對準%增彊式選場對準
리축대준%기준표기%동축대준%증강식선장대준
分步投影光刻设备对准系统是由嵌在工作台上的一组基准标记、一套离轴对准系统和一套掩模对准系统组成.当工作台上的基准标记运行到投影镜头下面时,通过掩模对准系统在预定范围内扫描测量标记位置值.当工作台上的基准标记或硅片上的标记运行到离轴对准系统测量光束下面时,用系统扫描可以测量出标记的坐标值.即可通过测量值计算出每个曝光场的中心坐标值.通过EGA对准数据,可计算出硅片的平移偏移量、旋转量、比例量和正交性量的补偿值.
分步投影光刻設備對準繫統是由嵌在工作檯上的一組基準標記、一套離軸對準繫統和一套掩模對準繫統組成.噹工作檯上的基準標記運行到投影鏡頭下麵時,通過掩模對準繫統在預定範圍內掃描測量標記位置值.噹工作檯上的基準標記或硅片上的標記運行到離軸對準繫統測量光束下麵時,用繫統掃描可以測量齣標記的坐標值.即可通過測量值計算齣每箇曝光場的中心坐標值.通過EGA對準數據,可計算齣硅片的平移偏移量、鏇轉量、比例量和正交性量的補償值.
분보투영광각설비대준계통시유감재공작태상적일조기준표기、일투리축대준계통화일투엄모대준계통조성.당공작태상적기준표기운행도투영경두하면시,통과엄모대준계통재예정범위내소묘측량표기위치치.당공작태상적기준표기혹규편상적표기운행도리축대준계통측량광속하면시,용계통소묘가이측량출표기적좌표치.즉가통과측량치계산출매개폭광장적중심좌표치.통과EGA대준수거,가계산출규편적평이편이량、선전량、비례량화정교성량적보상치.
