航空精密制造技术
航空精密製造技術
항공정밀제조기술
AVIATION PRECISION MANUFACTURING TECHNOLOGY
2008年
5期
4-8
,共5页
祝土富%沈丽如%徐桂东%金凡亚
祝土富%瀋麗如%徐桂東%金凡亞
축토부%침려여%서계동%금범아
磁过滤真空阴极弧%DLC膜%Raman%XPS%显微硬度计%摩擦磨损仪%洛氏硬度计
磁過濾真空陰極弧%DLC膜%Raman%XPS%顯微硬度計%摩抆磨損儀%洛氏硬度計
자과려진공음겁호%DLC막%Raman%XPS%현미경도계%마찰마손의%락씨경도계
采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在硅片、不锈钢片基体上制备了类金刚石(DLC)膜.检测结果表明,膜中存在着微米级的大颗粒分布,膜厚为290nm,sp3键的含量为62.23%.所制备的薄膜具有典型的DLC膜Raman光谱特征,耐磨性能优良,膜与基体的结合性能良好.
採用磁過濾直流真空陰極弧沉積技術在硅片、不鏽鋼片基體上製備瞭類金剛石(DLC)膜.檢測結果錶明,膜中存在著微米級的大顆粒分佈,膜厚為290nm,sp3鍵的含量為62.23%.所製備的薄膜具有典型的DLC膜Raman光譜特徵,耐磨性能優良,膜與基體的結閤性能良好.
채용자과려직류진공음겁호침적기술재규편、불수강편기체상제비료류금강석(DLC)막.검측결과표명,막중존재착미미급적대과립분포,막후위290nm,sp3건적함량위62.23%.소제비적박막구유전형적DLC막Raman광보특정,내마성능우량,막여기체적결합성능량호.
