传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
11期
87-89,92
,共4页
微型氢气传感器%结构设计%热分析
微型氫氣傳感器%結構設計%熱分析
미형경기전감기%결구설계%열분석
基于金属氧化物半导体气体传感器的工作机理,提出了一种微型氢气传感器结构设计.针对几个主要设计参数,利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行了热分析.通过分析和比较,完成了对微型氢气传感器结构的优化设计,并对优化后的传感器进行了瞬态分析.分析结果表明:所设计的传感器结构符合设计要求.
基于金屬氧化物半導體氣體傳感器的工作機理,提齣瞭一種微型氫氣傳感器結構設計.針對幾箇主要設計參數,利用有限元分析軟件ANSYS對這種結構進行瞭熱分析.通過分析和比較,完成瞭對微型氫氣傳感器結構的優化設計,併對優化後的傳感器進行瞭瞬態分析.分析結果錶明:所設計的傳感器結構符閤設計要求.
기우금속양화물반도체기체전감기적공작궤리,제출료일충미형경기전감기결구설계.침대궤개주요설계삼수,이용유한원분석연건ANSYS대저충결구진행료열분석.통과분석화비교,완성료대미형경기전감기결구적우화설계,병대우화후적전감기진행료순태분석.분석결과표명:소설계적전감기결구부합설계요구.
