光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
4期
869-873
,共5页
史玲娜%黄尚廉%孙吉勇%张智海%张洁%韦玮
史玲娜%黃尚廉%孫吉勇%張智海%張潔%韋瑋
사령나%황상렴%손길용%장지해%장길%위위
微光机电系统%光栅光调制器%衍射%表面弯曲度%对比度
微光機電繫統%光柵光調製器%衍射%錶麵彎麯度%對比度
미광궤전계통%광책광조제기%연사%표면만곡도%대비도
讨论了二维光栅光调制器阵列的表面弯曲度对衍射光学特性的影响.利用实测的表面结构数据建立了阵列模型,利用Matlab软件计算了不同弯曲度对频谱面上衍射光强的分布影响.得到了弯曲度与对比度之间的关系.结果表明暗态时光栅面的弯曲度对成像对比度的影响很大,如果将光栅面的中心弯曲度控制在0.1λ以内,在像面上将获得1000以上的对比度.并通过实验动态显示器件的明暗态调制,得出减少光栅面弯曲度的优化方案.
討論瞭二維光柵光調製器陣列的錶麵彎麯度對衍射光學特性的影響.利用實測的錶麵結構數據建立瞭陣列模型,利用Matlab軟件計算瞭不同彎麯度對頻譜麵上衍射光彊的分佈影響.得到瞭彎麯度與對比度之間的關繫.結果錶明暗態時光柵麵的彎麯度對成像對比度的影響很大,如果將光柵麵的中心彎麯度控製在0.1λ以內,在像麵上將穫得1000以上的對比度.併通過實驗動態顯示器件的明暗態調製,得齣減少光柵麵彎麯度的優化方案.
토론료이유광책광조제기진렬적표면만곡도대연사광학특성적영향.이용실측적표면결구수거건립료진렬모형,이용Matlab연건계산료불동만곡도대빈보면상연사광강적분포영향.득도료만곡도여대비도지간적관계.결과표명암태시광책면적만곡도대성상대비도적영향흔대,여과장광책면적중심만곡도공제재0.1λ이내,재상면상장획득1000이상적대비도.병통과실험동태현시기건적명암태조제,득출감소광책면만곡도적우화방안.
