微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
5期
285-291
,共7页
宋经纬%周祥%谌家军%马锡英
宋經緯%週祥%諶傢軍%馬錫英
송경위%주상%심가군%마석영
Si纳米线%纳米线电子器件%纳米线电池%纳米线传感器%电学特性
Si納米線%納米線電子器件%納米線電池%納米線傳感器%電學特性
Si납미선%납미선전자기건%납미선전지%납미선전감기%전학특성
Si纳米线是一种非常重要的一维半导体纳米材料,在纳米器件方面有很好的应用前景.综述了Si纳米线的一些重要制备方法:激光烧蚀法、模板法、化学气相生长法、热蒸发法,简要介绍了各种制备方法过程并分析各种方法制备纳米线的优缺点.还介绍了Si纳米线所制备纳米器件的电学、电子输运等特性,说明了掺硼、掺磷纳米线分别具有P型、n型半导体特征.最后介绍了Si纳米线在电子器件、纳米线电池、传感器方面的相关应用.
Si納米線是一種非常重要的一維半導體納米材料,在納米器件方麵有很好的應用前景.綜述瞭Si納米線的一些重要製備方法:激光燒蝕法、模闆法、化學氣相生長法、熱蒸髮法,簡要介紹瞭各種製備方法過程併分析各種方法製備納米線的優缺點.還介紹瞭Si納米線所製備納米器件的電學、電子輸運等特性,說明瞭摻硼、摻燐納米線分彆具有P型、n型半導體特徵.最後介紹瞭Si納米線在電子器件、納米線電池、傳感器方麵的相關應用.
Si납미선시일충비상중요적일유반도체납미재료,재납미기건방면유흔호적응용전경.종술료Si납미선적일사중요제비방법:격광소식법、모판법、화학기상생장법、열증발법,간요개소료각충제비방법과정병분석각충방법제비납미선적우결점.환개소료Si납미선소제비납미기건적전학、전자수운등특성,설명료참붕、참린납미선분별구유P형、n형반도체특정.최후개소료Si납미선재전자기건、납미선전지、전감기방면적상관응용.
