微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
7期
419-423
,共5页
侯凤杰%伊福廷%樊瑞睿%张菊芳%廖元勋%陈元柏%欧阳群
侯鳳傑%伊福廷%樊瑞睿%張菊芳%廖元勛%陳元柏%歐暘群
후봉걸%이복정%번서예%장국방%료원훈%진원백%구양군
多丝正比室%微网气体探测器%SU8胶%干膜%丝网
多絲正比室%微網氣體探測器%SU8膠%榦膜%絲網
다사정비실%미망기체탐측기%SU8효%간막%사망
在多丝正比室(MWPC)受到严重挑战的形势下,微网气体探测器(micromegas)以其响应时间快、计数能力高的优势而从各种新型的气体探测器中脱颖而出.本文介绍了利用两种方法制作微网气体探测器微结构的工艺,一种是利用准LIGA工艺,以SU8胶为绝缘层;另一种是利用干膜做绝缘层来制作微网气体探测器.对比分析了SU8胶和干膜对于制作微网气体探测器的优劣.实验证明,利用干膜制作的微网气体探测器性能更好.使用放射源55Fe对其能量分辨本领进行了实验研究,结果利用干膜制作的微网气体探测器得到了有效增益,测出了逃逸峰.另外,还分析了使用编织丝网和电铸镍网对微网气体探测器的影响,实验证明,电铸镍网更适合于微网气体探测器的性能要求.
在多絲正比室(MWPC)受到嚴重挑戰的形勢下,微網氣體探測器(micromegas)以其響應時間快、計數能力高的優勢而從各種新型的氣體探測器中脫穎而齣.本文介紹瞭利用兩種方法製作微網氣體探測器微結構的工藝,一種是利用準LIGA工藝,以SU8膠為絕緣層;另一種是利用榦膜做絕緣層來製作微網氣體探測器.對比分析瞭SU8膠和榦膜對于製作微網氣體探測器的優劣.實驗證明,利用榦膜製作的微網氣體探測器性能更好.使用放射源55Fe對其能量分辨本領進行瞭實驗研究,結果利用榦膜製作的微網氣體探測器得到瞭有效增益,測齣瞭逃逸峰.另外,還分析瞭使用編織絲網和電鑄鎳網對微網氣體探測器的影響,實驗證明,電鑄鎳網更適閤于微網氣體探測器的性能要求.
재다사정비실(MWPC)수도엄중도전적형세하,미망기체탐측기(micromegas)이기향응시간쾌、계수능력고적우세이종각충신형적기체탐측기중탈영이출.본문개소료이용량충방법제작미망기체탐측기미결구적공예,일충시이용준LIGA공예,이SU8효위절연층;령일충시이용간막주절연층래제작미망기체탐측기.대비분석료SU8효화간막대우제작미망기체탐측기적우렬.실험증명,이용간막제작적미망기체탐측기성능경호.사용방사원55Fe대기능량분변본령진행료실험연구,결과이용간막제작적미망기체탐측기득도료유효증익,측출료도일봉.령외,환분석료사용편직사망화전주얼망대미망기체탐측기적영향,실험증명,전주얼망경괄합우미망기체탐측기적성능요구.
