CAJ | 학술논문

等离子体中电子激发温度是等离子体的一个重要物理参数之一,对材料表面改性具有非常重要的意义.本实验以Ar气为工作气体,利用发射光谱法对双层辉光放电等离子体参数进行在线诊断.依据气体放电中的光谱发射谱线强度与等离子体的电子激发温度有关,本实验选择了650～800 nm范围Ar原子谱线,通过玻尔兹曼方程,采用多线-斜率法对等离子体电子激发温度进行了估算.实验研究了工件电压、源极电压、工作气压等工艺参数对电子激发温度的影响,测量了电子激发温度的空间分布.实验结果表明,随工件电压的升高,电子激发温度先减小后增大,变化过程中有一个电子激发温度突变过程;不同工件电压下,工作气压对电子激发温度的影响规律不同;空间分布测量可知,中间部位处的电子激发温度要比两边高;而源极电压较小时,对电子激发温度影响不太明显.
등리자체중전자격발온도시등리자체적일개중요물리삼수지일,대재료표면개성구유비상중요적의의.본실험이Ar기위공작기체,이용발사광보법대쌍층휘광방전등리자체삼수진행재선진단.의거기체방전중적광보발사보선강도여등리자체적전자격발온도유관,본실험선택료650～800 nm범위Ar원자보선,통과파이자만방정,채용다선-사솔법대등리자체전자격발온도진행료고산.실험연구료공건전압、원겁전압、공작기압등공예삼수대전자격발온도적영향,측량료전자격발온도적공간분포.실험결과표명,수공건전압적승고,전자격발온도선감소후증대,변화과정중유일개전자격발온도돌변과정;불동공건전압하,공작기압대전자격발온도적영향규률불동;공간분포측량가지,중간부위처적전자격발온도요비량변고;이원겁전압교소시,대전자격발온도영향불태명현.