传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
1期
38-40
,共3页
声表面波%湿度传感器%叉指换能器%抗腐蚀结构
聲錶麵波%濕度傳感器%扠指換能器%抗腐蝕結構
성표면파%습도전감기%차지환능기%항부식결구
为解决声表面波(SAW)湿度传感器存在易被污染、不易清洁、稳定性差等问题,提出了一种新的基于改进的单端口 SAW 谐振器结构用于湿度检测.在此结构中,在 ITO 材料制作的叉指换能器和反射阵上溅射厚度为 5pm Si<,3>N<,4>层以屏蔽各种腐蚀性物质如酸性、碱性等腐蚀性气体对 SAW 谐振器电极的侵蚀.相比常规谐振器,新结构加大了谐振器叉指换能器与一个反射阵之间距用于涂敷湿敏材料,同时在石英基片背面布设 ITO 材料脱湿电路.给出了基于此类结构 SAW 湿度传感器的制作工艺、感湿实验测试结果.实验验证了该结构 SAW 湿度传感器的可清洁性、耐腐蚀性及该结构的有效性.
為解決聲錶麵波(SAW)濕度傳感器存在易被汙染、不易清潔、穩定性差等問題,提齣瞭一種新的基于改進的單耑口 SAW 諧振器結構用于濕度檢測.在此結構中,在 ITO 材料製作的扠指換能器和反射陣上濺射厚度為 5pm Si<,3>N<,4>層以屏蔽各種腐蝕性物質如痠性、堿性等腐蝕性氣體對 SAW 諧振器電極的侵蝕.相比常規諧振器,新結構加大瞭諧振器扠指換能器與一箇反射陣之間距用于塗敷濕敏材料,同時在石英基片揹麵佈設 ITO 材料脫濕電路.給齣瞭基于此類結構 SAW 濕度傳感器的製作工藝、感濕實驗測試結果.實驗驗證瞭該結構 SAW 濕度傳感器的可清潔性、耐腐蝕性及該結構的有效性.
위해결성표면파(SAW)습도전감기존재역피오염、불역청길、은정성차등문제,제출료일충신적기우개진적단단구 SAW 해진기결구용우습도검측.재차결구중,재 ITO 재료제작적차지환능기화반사진상천사후도위 5pm Si<,3>N<,4>층이병폐각충부식성물질여산성、감성등부식성기체대 SAW 해진기전겁적침식.상비상규해진기,신결구가대료해진기차지환능기여일개반사진지간거용우도부습민재료,동시재석영기편배면포설 ITO 재료탈습전로.급출료기우차류결구 SAW 습도전감기적제작공예、감습실험측시결과.실험험증료해결구 SAW 습도전감기적가청길성、내부식성급해결구적유효성.
