测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2002年
z1期
1-7
,共7页
位移测量%图像处理%精密定位%平面工作台%性能检测
位移測量%圖像處理%精密定位%平麵工作檯%性能檢測
위이측량%도상처리%정밀정위%평면공작태%성능검측
要实现平面工作台的精密定位,需要对其运动进行检测,并设计相应的控制方案.为同步检测平面工作台三自由度位移,研制了图像处理位移检测系统.以CCD相机为核心结合显微镜放大、图像采集和图像处理构成检测系统.系统的位移检测不受工作台大幅转动的影响.检测系统既有较高的位移分辨率,又有一定的位移检测范围.使用图像处理位移检测系统,对清华大学制造的平面精密工作台的运动性能进行了测试.工作台干涉运动均小于主运动,通过合理的开环控制对各个运动方向上的干涉运动进行补偿,获得了工作台在平面任意方向上的运动.工作台小范围定位能力的检测表明工作台具有很高的定位分辨率.
要實現平麵工作檯的精密定位,需要對其運動進行檢測,併設計相應的控製方案.為同步檢測平麵工作檯三自由度位移,研製瞭圖像處理位移檢測繫統.以CCD相機為覈心結閤顯微鏡放大、圖像採集和圖像處理構成檢測繫統.繫統的位移檢測不受工作檯大幅轉動的影響.檢測繫統既有較高的位移分辨率,又有一定的位移檢測範圍.使用圖像處理位移檢測繫統,對清華大學製造的平麵精密工作檯的運動性能進行瞭測試.工作檯榦涉運動均小于主運動,通過閤理的開環控製對各箇運動方嚮上的榦涉運動進行補償,穫得瞭工作檯在平麵任意方嚮上的運動.工作檯小範圍定位能力的檢測錶明工作檯具有很高的定位分辨率.
요실현평면공작태적정밀정위,수요대기운동진행검측,병설계상응적공제방안.위동보검측평면공작태삼자유도위이,연제료도상처리위이검측계통.이CCD상궤위핵심결합현미경방대、도상채집화도상처리구성검측계통.계통적위이검측불수공작태대폭전동적영향.검측계통기유교고적위이분변솔,우유일정적위이검측범위.사용도상처리위이검측계통,대청화대학제조적평면정밀공작태적운동성능진행료측시.공작태간섭운동균소우주운동,통과합리적개배공제대각개운동방향상적간섭운동진행보상,획득료공작태재평면임의방향상적운동.공작태소범위정위능력적검측표명공작태구유흔고적정위분변솔.
