真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
1998年
4期
247-251
,共5页
彭定敏%杜雪岩%刘振祥%王典芬%谢侃
彭定敏%杜雪巖%劉振祥%王典芬%謝侃
팽정민%두설암%류진상%왕전분%사간
CeO2薄膜%溶胶-凝胶法%X射线光电子谱
CeO2薄膜%溶膠-凝膠法%X射線光電子譜
CeO2박막%용효-응효법%X사선광전자보
探讨了用硝酸亚铈通过溶胶-凝胶法制备CeO2薄膜的制备工艺.用X射线衍射和扫描电子显微镜分析了薄膜的显微形貌及其晶体结构,借助X射线光电子能谱研究了薄膜表面元素Ce的化学态.结果表明,用该方法可获得质量良好的CeO2薄膜.
探討瞭用硝痠亞鈰通過溶膠-凝膠法製備CeO2薄膜的製備工藝.用X射線衍射和掃描電子顯微鏡分析瞭薄膜的顯微形貌及其晶體結構,藉助X射線光電子能譜研究瞭薄膜錶麵元素Ce的化學態.結果錶明,用該方法可穫得質量良好的CeO2薄膜.
탐토료용초산아시통과용효-응효법제비CeO2박막적제비공예.용X사선연사화소묘전자현미경분석료박막적현미형모급기정체결구,차조X사선광전자능보연구료박막표면원소Ce적화학태.결과표명,용해방법가획득질량량호적CeO2박막.
