光谱实验室
光譜實驗室
광보실험실
CHINESE JOURNAL OF SPECTROSCOPY LABORATORY
2008年
2期
180-184
,共5页
二次离子质谱(SIMS)%IMS-6f型.
二次離子質譜(SIMS)%IMS-6f型.
이차리자질보(SIMS)%IMS-6f형.
二次离子质谱(SIMS)是离子质谱学的一个分支,也是表面分析的有利工具.该方法能检测出微小区域内的微量成分,绝对检出限10-12-10-19g;相对检出限ppm-ppb;具有能进行杂质深度剖析和各种元素在微区范围内同位素丰度比的测量.结合IMS-6f型二次离子质谱仪器,本文对SIMS仪器和技术应用进行了综述.
二次離子質譜(SIMS)是離子質譜學的一箇分支,也是錶麵分析的有利工具.該方法能檢測齣微小區域內的微量成分,絕對檢齣限10-12-10-19g;相對檢齣限ppm-ppb;具有能進行雜質深度剖析和各種元素在微區範圍內同位素豐度比的測量.結閤IMS-6f型二次離子質譜儀器,本文對SIMS儀器和技術應用進行瞭綜述.
이차리자질보(SIMS)시리자질보학적일개분지,야시표면분석적유리공구.해방법능검측출미소구역내적미량성분,절대검출한10-12-10-19g;상대검출한ppm-ppb;구유능진행잡질심도부석화각충원소재미구범위내동위소봉도비적측량.결합IMS-6f형이차리자질보의기,본문대SIMS의기화기술응용진행료종술.
