1.064 μm脉冲激光作用下SiO2薄膜纹波损伤的模拟
1.064 μm맥충격광작용하SiO2박막문파손상적모의
Ripple damage mechanism of SiO2 film induced by 1.064 μm pulsed laser
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2008年 3期 509-512 ,共4页

    袁晓东%李绪平%郑万国%祖小涛%向霞%蒋晓东%尹烨%徐世珍%郭袁俊%田东斌%王毕艺

    원효동%리서평%정만국%조소도%향하%장효동%윤엽%서세진%곽원준%전동빈%왕필예

    激光诱导损伤%SiO2薄膜%电子束蒸发%纹波损伤 激光誘導損傷%SiO2薄膜%電子束蒸髮%紋波損傷
    격광유도손상%SiO2박막%전자속증발%문파손상
    用1.064 μm波长的单脉冲(6 ns)激光对K9玻璃基底上电子束沉积的单层SiO2薄膜进行了辐照损伤实验.以扫描电镜对K9基底的断面进行分析,并采用表面热透镜装置对膜层中的缺陷进行了检测,最后采用Matlab偏微分工具箱对缺陷的散射光光场进行了有限元模拟.实验研究表明:膜层中存在缺陷,基底中也存在大量缺陷.模拟研究表明:缺陷的位置越深,形成的条纹间距也越宽;当缺陷的形状不规则时,在局部出现近似平行的纹波结构;当缺陷的数目增加时,这些缺陷的散射光的叠加就形成相互叠加的条纹.
    용1.064 μm파장적단맥충(6 ns)격광대K9파리기저상전자속침적적단층SiO2박막진행료복조손상실험.이소묘전경대K9기저적단면진행분석,병채용표면열투경장치대막층중적결함진행료검측,최후채용Matlab편미분공구상대결함적산사광광장진행료유한원모의.실험연구표명:막층중존재결함,기저중야존재대량결함.모의연구표명:결함적위치월심,형성적조문간거야월관;당결함적형상불규칙시,재국부출현근사평행적문파결구;당결함적수목증가시,저사결함적산사광적첩가취형성상호첩가적조문.
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