世界华商经济年鉴·高校教育研究
世界華商經濟年鑒·高校教育研究
세계화상경제년감·고교교육연구
WORLD CHINESE ENTREPRENEUR ECONOMIC YEARBOOK·GAOXIAO JIAOYU YANJIU
2008年
4期
175
,共1页
透射电子显微镜%结构%晶体缺陷
透射電子顯微鏡%結構%晶體缺陷
투사전자현미경%결구%정체결함
本文介绍了Tecnai G220型透射电子显微镜的工作原理和特点,并结合ITO薄膜样品的高分辨显微象和Gatan Digi-talMicrograph 3.8.2分析软件分析了膜的晶体结构以及膜中的缺陷和晶格畸变等现象.分析结果表明Tecnai G220型透射电子显微镜可以直接观察到ITO膜的二维晶格像.并由此可以确定ITO膜的晶体结构,同时可以观察到晶界上的晶格畸变、孔洞以及晶粒内部的层错、刃位错等缺陷,是微观结构和缺陷分析的有力工具.
本文介紹瞭Tecnai G220型透射電子顯微鏡的工作原理和特點,併結閤ITO薄膜樣品的高分辨顯微象和Gatan Digi-talMicrograph 3.8.2分析軟件分析瞭膜的晶體結構以及膜中的缺陷和晶格畸變等現象.分析結果錶明Tecnai G220型透射電子顯微鏡可以直接觀察到ITO膜的二維晶格像.併由此可以確定ITO膜的晶體結構,同時可以觀察到晶界上的晶格畸變、孔洞以及晶粒內部的層錯、刃位錯等缺陷,是微觀結構和缺陷分析的有力工具.
본문개소료Tecnai G220형투사전자현미경적공작원리화특점,병결합ITO박막양품적고분변현미상화Gatan Digi-talMicrograph 3.8.2분석연건분석료막적정체결구이급막중적결함화정격기변등현상.분석결과표명Tecnai G220형투사전자현미경가이직접관찰도ITO막적이유정격상.병유차가이학정ITO막적정체결구,동시가이관찰도정계상적정격기변、공동이급정립내부적층착、인위착등결함,시미관결구화결함분석적유력공구.
