光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
9期
1638-1642
,共5页
宁禹%周虹%官春林%饶长辉%姜文汉
寧禹%週虹%官春林%饒長輝%薑文漢
저우%주홍%관춘림%요장휘%강문한
自适应光学%双压电片变形反射镜%影响函数%有限元法%泽尼克拟合
自適應光學%雙壓電片變形反射鏡%影響函數%有限元法%澤尼剋擬閤
자괄응광학%쌍압전편변형반사경%영향함수%유한원법%택니극의합
影响函数是分析双压电片变形反射镜像差校正能力的重要参量,通过建立有限元模型预测实际器件的影响函数,以有限元模型的不断优化替代实际器件的尝试性改进,可以减小构造的盲目性,从而节约研发成本,缩短双压电片变形镜的实用化进程.采用Veeco干涉仪测量了20单元双压电片变形反射镜的影响函数,同时建立有限元模型进行了相应计算,并将计算结果与实际器件的测量数据进行了对比分析.结果表明,相对于实测数据而言,有限元模型计算得出的影响函数在量值上略有偏小,但其形状和峰值位置与测量数据一致性好,两者对前35项泽尼克像差的拟合曲线也基本吻合,各项拟合误差系数之差皆小于0.1.这说明通过不断改进有限元模型实现对实际器件的优化设计是切实可行的.
影響函數是分析雙壓電片變形反射鏡像差校正能力的重要參量,通過建立有限元模型預測實際器件的影響函數,以有限元模型的不斷優化替代實際器件的嘗試性改進,可以減小構造的盲目性,從而節約研髮成本,縮短雙壓電片變形鏡的實用化進程.採用Veeco榦涉儀測量瞭20單元雙壓電片變形反射鏡的影響函數,同時建立有限元模型進行瞭相應計算,併將計算結果與實際器件的測量數據進行瞭對比分析.結果錶明,相對于實測數據而言,有限元模型計算得齣的影響函數在量值上略有偏小,但其形狀和峰值位置與測量數據一緻性好,兩者對前35項澤尼剋像差的擬閤麯線也基本吻閤,各項擬閤誤差繫數之差皆小于0.1.這說明通過不斷改進有限元模型實現對實際器件的優化設計是切實可行的.
영향함수시분석쌍압전편변형반사경상차교정능력적중요삼량,통과건립유한원모형예측실제기건적영향함수,이유한원모형적불단우화체대실제기건적상시성개진,가이감소구조적맹목성,종이절약연발성본,축단쌍압전편변형경적실용화진정.채용Veeco간섭의측량료20단원쌍압전편변형반사경적영향함수,동시건립유한원모형진행료상응계산,병장계산결과여실제기건적측량수거진행료대비분석.결과표명,상대우실측수거이언,유한원모형계산득출적영향함수재량치상략유편소,단기형상화봉치위치여측량수거일치성호,량자대전35항택니극상차적의합곡선야기본문합,각항의합오차계수지차개소우0.1.저설명통과불단개진유한원모형실현대실제기건적우화설계시절실가행적.
