吉林大学学报（理学版）
吉林大學學報（理學版）
길림대학학보（이학판）
JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
2008年
5期
956-958
,共3页
高压%金刚石对顶砧%范德堡%电阻率%有限元分析
高壓%金剛石對頂砧%範德堡%電阻率%有限元分析
고압%금강석대정침%범덕보%전조솔%유한원분석
利用有限元分析方法(FEA)对金刚石对顶砧(DAC)中范德堡法测量极微小样品电阻率的误差进行数值模拟与分析, 结果表明, 对于极微小样品, 电极与样品的接触面积是影响电阻率精确测量的重要因素, 测量误差随接触面积的增大而增大, 对半导体材料尤其明显. 当样品厚度与直径的比值小于0.45, 且电极和样品的接触面边长与样品直径的比值小于0.1时, 测量电极是否满足点接触条件, 范德堡法均能给出精确的测量结果.
利用有限元分析方法(FEA)對金剛石對頂砧(DAC)中範德堡法測量極微小樣品電阻率的誤差進行數值模擬與分析, 結果錶明, 對于極微小樣品, 電極與樣品的接觸麵積是影響電阻率精確測量的重要因素, 測量誤差隨接觸麵積的增大而增大, 對半導體材料尤其明顯. 噹樣品厚度與直徑的比值小于0.45, 且電極和樣品的接觸麵邊長與樣品直徑的比值小于0.1時, 測量電極是否滿足點接觸條件, 範德堡法均能給齣精確的測量結果.
이용유한원분석방법(FEA)대금강석대정침(DAC)중범덕보법측량겁미소양품전조솔적오차진행수치모의여분석, 결과표명, 대우겁미소양품, 전겁여양품적접촉면적시영향전조솔정학측량적중요인소, 측량오차수접촉면적적증대이증대, 대반도체재료우기명현. 당양품후도여직경적비치소우0.45, 차전겁화양품적접촉면변장여양품직경적비치소우0.1시, 측량전겁시부만족점접촉조건, 범덕보법균능급출정학적측량결과.
