功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
9期
1465-1467
,共3页
胡敏%刘莹%赖珍荃%刘倩
鬍敏%劉瑩%賴珍荃%劉倩
호민%류형%뢰진전%류천
磁控溅射%TiN薄膜%正交试验%溅射电流
磁控濺射%TiN薄膜%正交試驗%濺射電流
자공천사%TiN박막%정교시험%천사전류
采用磁控溅射法在硅基片表面沉积TiN薄膜,研究了溅射气压、氮气流量、氩气流量、溅射电流等溅射参数对TiN薄膜导电性能的影响.实验参数采用正交设计法选取,经模糊分析得出,所考察的因素对薄膜光催化性能的影响次序由大到小依次为溅射电流、气体流量、溅射气压.进一步研究影响最大的溅射电流对薄膜结构与电学性能的影响,结果发现:溅射电流的增大使溅射粒子的动能随之增大,薄膜生长加快;薄膜的电阻率存在最小值.
採用磁控濺射法在硅基片錶麵沉積TiN薄膜,研究瞭濺射氣壓、氮氣流量、氬氣流量、濺射電流等濺射參數對TiN薄膜導電性能的影響.實驗參數採用正交設計法選取,經模糊分析得齣,所攷察的因素對薄膜光催化性能的影響次序由大到小依次為濺射電流、氣體流量、濺射氣壓.進一步研究影響最大的濺射電流對薄膜結構與電學性能的影響,結果髮現:濺射電流的增大使濺射粒子的動能隨之增大,薄膜生長加快;薄膜的電阻率存在最小值.
채용자공천사법재규기편표면침적TiN박막,연구료천사기압、담기류량、아기류량、천사전류등천사삼수대TiN박막도전성능적영향.실험삼수채용정교설계법선취,경모호분석득출,소고찰적인소대박막광최화성능적영향차서유대도소의차위천사전류、기체류량、천사기압.진일보연구영향최대적천사전류대박막결구여전학성능적영향,결과발현:천사전류적증대사천사입자적동능수지증대,박막생장가쾌;박막적전조솔존재최소치.
