计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2010年
3期
3-6
,共4页
微结构%条纹图%离面运动%SUSAN滤波算法%相位去包裹
微結構%條紋圖%離麵運動%SUSAN濾波算法%相位去包裹
미결구%조문도%리면운동%SUSAN려파산법%상위거포과
为了测量微结构离面(Out-of-plane)运动特性,利用频闪显微干涉技术设计研制了微结构离面运动测试系统,首先采集微结构运动周期内不同时刻的一系列干涉条纹图,并通过SUSAN滤波算法对各干涉条纹图进行降噪处理,再利用5步相移算法从干涉条纹图中提取被测微结构的相位信息得到包裹相位的锯齿型条纹图,并采用质量导向图法进行去包裹处理,最后根据相位高度关系式可得到被测微结构运动周期内不同时刻的形貌图及其离面运动曲线.通过实验对正弦基础激励下硅微悬臂梁的离面振动响应进行了有效测量,且测量重复性小于10nm.
為瞭測量微結構離麵(Out-of-plane)運動特性,利用頻閃顯微榦涉技術設計研製瞭微結構離麵運動測試繫統,首先採集微結構運動週期內不同時刻的一繫列榦涉條紋圖,併通過SUSAN濾波算法對各榦涉條紋圖進行降譟處理,再利用5步相移算法從榦涉條紋圖中提取被測微結構的相位信息得到包裹相位的鋸齒型條紋圖,併採用質量導嚮圖法進行去包裹處理,最後根據相位高度關繫式可得到被測微結構運動週期內不同時刻的形貌圖及其離麵運動麯線.通過實驗對正絃基礎激勵下硅微懸臂樑的離麵振動響應進行瞭有效測量,且測量重複性小于10nm.
위료측량미결구리면(Out-of-plane)운동특성,이용빈섬현미간섭기술설계연제료미결구리면운동측시계통,수선채집미결구운동주기내불동시각적일계렬간섭조문도,병통과SUSAN려파산법대각간섭조문도진행강조처리,재이용5보상이산법종간섭조문도중제취피측미결구적상위신식득도포과상위적거치형조문도,병채용질량도향도법진행거포과처리,최후근거상위고도관계식가득도피측미결구운동주기내불동시각적형모도급기리면운동곡선.통과실험대정현기출격려하규미현비량적리면진동향응진행료유효측량,차측량중복성소우10nm.
