刚性模具纳米热压印直接成型技术研究与应用
강성모구납미열압인직접성형기술연구여응용
Research status and application of hot nano-imprint lithography forming technique with rigid die
  • 万方数据
    模具工业 모구공업
    DIE & MOUID INDUSTRY
    2010年 9期 1-5 ,共5页

    刘伟%王伊卿%甘代伟

    류위%왕이경%감대위

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    납미압인%강성모구%성형
    介绍了刚性模具纳米热压印直接成型技术与研究现状,阐述了纳米热压印工艺的系统组成、模具制造方法、压印材料选择及关键工艺过程,分析了影响压印精度的主要原因,探讨了刚性模具纳米热压印直接成型过程中,多层图形压印的对准问题,介绍了3种改善对准精度的方法.
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