电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
6期
20-23
,共4页
闫启亮%田知玲%郎小虎%张伟%常亮
閆啟亮%田知玲%郎小虎%張偉%常亮
염계량%전지령%랑소호%장위%상량
主轴%晶圆%划切槽
主軸%晶圓%劃切槽
주축%정원%화절조
分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和裂角,提高划切槽的质量.
分析砂輪劃片機主軸繫統的裝配精度,使得主軸刀盤麵在工作檯笛卡爾坐標繫中的位置精度以及在安裝砂輪刀片後,劃切晶圓對劃切槽質量造成的影響,如何調整刀盤的精度,降低崩邊和裂角,提高劃切槽的質量.
분석사륜화편궤주축계통적장배정도,사득주축도반면재공작태적잡이좌표계중적위치정도이급재안장사륜도편후,화절정원대화절조질량조성적영향,여하조정도반적정도,강저붕변화렬각,제고화절조적질량.
