稀土
稀土
희토
CHINESE RARE EARTHS
2012年
1期
68-73
,共6页
二氧化铈%抛光机理%物理作用%化学作用%化学机械抛光
二氧化鈰%拋光機理%物理作用%化學作用%化學機械拋光
이양화시%포광궤리%물리작용%화학작용%화학궤계포광
由于具有抛光速率快、选择性好、自动停止等特点,二氧化铈浆料被广泛用于材料的表面抛光处理,但抛光机理研究的相对滞后严重制约其物化改性和推广.针对这一现状,本文介绍了二氧化铈浆料抛光过程中的物理作用及化学作用,总结了化学机械抛光机理,并对今后研究方向提出了展望.
由于具有拋光速率快、選擇性好、自動停止等特點,二氧化鈰漿料被廣汎用于材料的錶麵拋光處理,但拋光機理研究的相對滯後嚴重製約其物化改性和推廣.針對這一現狀,本文介紹瞭二氧化鈰漿料拋光過程中的物理作用及化學作用,總結瞭化學機械拋光機理,併對今後研究方嚮提齣瞭展望.
유우구유포광속솔쾌、선택성호、자동정지등특점,이양화시장료피엄범용우재료적표면포광처리,단포광궤리연구적상대체후엄중제약기물화개성화추엄.침대저일현상,본문개소료이양화시장료포광과정중적물리작용급화학작용,총결료화학궤계포광궤리,병대금후연구방향제출료전망.
