电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2004年
5期
39-40,51
,共3页
崔红玲%杨邦朝%杜小松%滕林%周鸿仁
崔紅玲%楊邦朝%杜小鬆%滕林%週鴻仁
최홍령%양방조%두소송%등림%주홍인
二氧化二铝薄膜%电子束蒸发%电性能测试%电阻率
二氧化二鋁薄膜%電子束蒸髮%電性能測試%電阻率
이양화이려박막%전자속증발%전성능측시%전조솔
以Al2O3薄膜为例,介绍了用电子束蒸发制备介质薄膜的工艺.研究了不同退火条件下Al2O3薄膜的电性能,优化出最佳的热处理条件为400℃、氧气气氛中,热处理3 h.并对制得的Al2O3薄膜进行了SEM表面和断面分析,结果表明制得的Al2O3薄膜较烧结的Al2O3基板致密.
以Al2O3薄膜為例,介紹瞭用電子束蒸髮製備介質薄膜的工藝.研究瞭不同退火條件下Al2O3薄膜的電性能,優化齣最佳的熱處理條件為400℃、氧氣氣氛中,熱處理3 h.併對製得的Al2O3薄膜進行瞭SEM錶麵和斷麵分析,結果錶明製得的Al2O3薄膜較燒結的Al2O3基闆緻密.
이Al2O3박막위례,개소료용전자속증발제비개질박막적공예.연구료불동퇴화조건하Al2O3박막적전성능,우화출최가적열처리조건위400℃、양기기분중,열처리3 h.병대제득적Al2O3박막진행료SEM표면화단면분석,결과표명제득적Al2O3박막교소결적Al2O3기판치밀.
