真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
2期
106-109,162
,共5页
真空蒸发%ZnMgS%结构和光学性质%多晶薄膜
真空蒸髮%ZnMgS%結構和光學性質%多晶薄膜
진공증발%ZnMgS%결구화광학성질%다정박막
本文介绍了对真空蒸发制备的多组ZnxMg1-xS多晶薄膜的研究,用X射线能量色散谱仪(EDS)测定几组ZnxMg1-xS薄膜样品的成分后,由原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)测试结果表明:薄膜晶体生长形貌和结晶性良好,为闪锌矿结构;对ZnxMg1-xS薄膜的紫外吸收分析表明,薄膜在345 nm～275 nm处形成陡峭的吸收边,在波长小于275 nm的紫外区有强烈的吸收;光致发光谱中发光中心波长在可见光区紫光范围约为401 nm～395 nm之间.同时随着Mg含量的增加,样品的(111)峰位向大角度方向移动,吸收边和发光峰的蓝移也增加,蓝移说明了带隙的展宽.显示了其作为短波光电器件材料和拓展紫外发光器件的研制领域的潜力.
本文介紹瞭對真空蒸髮製備的多組ZnxMg1-xS多晶薄膜的研究,用X射線能量色散譜儀(EDS)測定幾組ZnxMg1-xS薄膜樣品的成分後,由原子力顯微鏡(AFM)和X射線衍射(XRD)測試結果錶明:薄膜晶體生長形貌和結晶性良好,為閃鋅礦結構;對ZnxMg1-xS薄膜的紫外吸收分析錶明,薄膜在345 nm～275 nm處形成陡峭的吸收邊,在波長小于275 nm的紫外區有彊烈的吸收;光緻髮光譜中髮光中心波長在可見光區紫光範圍約為401 nm～395 nm之間.同時隨著Mg含量的增加,樣品的(111)峰位嚮大角度方嚮移動,吸收邊和髮光峰的藍移也增加,藍移說明瞭帶隙的展寬.顯示瞭其作為短波光電器件材料和拓展紫外髮光器件的研製領域的潛力.
본문개소료대진공증발제비적다조ZnxMg1-xS다정박막적연구,용X사선능량색산보의(EDS)측정궤조ZnxMg1-xS박막양품적성분후,유원자력현미경(AFM)화X사선연사(XRD)측시결과표명:박막정체생장형모화결정성량호,위섬자광결구;대ZnxMg1-xS박막적자외흡수분석표명,박막재345 nm～275 nm처형성두초적흡수변,재파장소우275 nm적자외구유강렬적흡수;광치발광보중발광중심파장재가견광구자광범위약위401 nm～395 nm지간.동시수착Mg함량적증가,양품적(111)봉위향대각도방향이동,흡수변화발광봉적람이야증가,람이설명료대극적전관.현시료기작위단파광전기건재료화탁전자외발광기건적연제영역적잠력.
