无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2006年
3期
713-718
,共6页
唐章东%杨传仁%廖家轩%张继华%冷文建%陈宏伟%符春林
唐章東%楊傳仁%廖傢軒%張繼華%冷文建%陳宏偉%符春林
당장동%양전인%료가헌%장계화%랭문건%진굉위%부춘림
BST%表层%晶化%钙钛矿结构%XPS
BST%錶層%晶化%鈣鈦礦結構%XPS
BST%표층%정화%개태광결구%XPS
用射频磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si基体上沉积Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)研究BST薄膜表层在常规晶化和快速晶化条件下的结构特征.结果表明,常规晶化时,BST薄膜表层约3～5nm厚度内含有非钙钛矿结构的BST,随着温度的升高该厚度增加;快速晶化时,该厚度减薄至1nm内,随着温度的升高没有明显增加.元素的化学态分析结果表明,非钙钛矿结构的BST并非来自薄膜表面吸附的CO和CO2等污染物,而与表面吸附的其他元素(如吸附氧)对表层结构的影响有关.GXRD和AFM表明,致密的表面结构能有效的阻止表面吸附元素在BST膜体中的扩散,从而减薄含非钙钛矿结构层的厚度.
用射頻磁控濺射在Pt/Ti/SiO2/Si基體上沉積Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,用X射線光電子能譜(XPS)研究BST薄膜錶層在常規晶化和快速晶化條件下的結構特徵.結果錶明,常規晶化時,BST薄膜錶層約3～5nm厚度內含有非鈣鈦礦結構的BST,隨著溫度的升高該厚度增加;快速晶化時,該厚度減薄至1nm內,隨著溫度的升高沒有明顯增加.元素的化學態分析結果錶明,非鈣鈦礦結構的BST併非來自薄膜錶麵吸附的CO和CO2等汙染物,而與錶麵吸附的其他元素(如吸附氧)對錶層結構的影響有關.GXRD和AFM錶明,緻密的錶麵結構能有效的阻止錶麵吸附元素在BST膜體中的擴散,從而減薄含非鈣鈦礦結構層的厚度.
용사빈자공천사재Pt/Ti/SiO2/Si기체상침적Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)박막,용X사선광전자능보(XPS)연구BST박막표층재상규정화화쾌속정화조건하적결구특정.결과표명,상규정화시,BST박막표층약3～5nm후도내함유비개태광결구적BST,수착온도적승고해후도증가;쾌속정화시,해후도감박지1nm내,수착온도적승고몰유명현증가.원소적화학태분석결과표명,비개태광결구적BST병비래자박막표면흡부적CO화CO2등오염물,이여표면흡부적기타원소(여흡부양)대표층결구적영향유관.GXRD화AFM표명,치밀적표면결구능유효적조지표면흡부원소재BST막체중적확산,종이감박함비개태광결구층적후도.
