硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2006年
10期
1182-1186
,共5页
倪佳苗%赵青南%王鹏%赵修建
倪佳苗%趙青南%王鵬%趙脩建
예가묘%조청남%왕붕%조수건
铈钛混合氧化物/掺锑氧化锡薄膜%紫外线截止/透明导电玻璃%射频磁控溅射
鈰鈦混閤氧化物/摻銻氧化錫薄膜%紫外線截止/透明導電玻璃%射頻磁控濺射
시태혼합양화물/참제양화석박막%자외선절지/투명도전파리%사빈자공천사
制备了SnO2:Sb(6%,摩尔分数)靶材和一系列不同摩尔比的CeO2-TiO2靶材;以所制靶材用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上沉积了CeO2-TiO2单层和CeO2-TiO2/SnO2:Sb双层薄膜.用紫外-可见光谱、Raman光谱、X射线光电子能谱和X射线衍射对CeO2-TiO2薄膜进行了表征.结果表明:在CeO2/TiO2摩尔比为0.5:0.5和0.6:0.4时沉积得到的CeO2-TiO2薄膜为非晶态结构,并具有高的紫外吸收(平均值＞99%)和高的可见光透过率(平均值＞80%).在CeO2-TiO2薄膜表面存在Ce4+,Ce3+和Ti4+.对CeO2-TiO2/SnO2:Sb双层薄膜,除具有高的紫外吸收(平均值＞99%)和可见光透过率(平均值＞75%)性能外,还具有导电性,方块电阻在80～90 Ω/口之间,电阻率在(3.2～3.6)×10-3Ω·cm之间.该双层镀膜玻璃具有截止紫外线和透明导电双功能.
製備瞭SnO2:Sb(6%,摩爾分數)靶材和一繫列不同摩爾比的CeO2-TiO2靶材;以所製靶材用射頻磁控濺射法在普通玻璃基片上沉積瞭CeO2-TiO2單層和CeO2-TiO2/SnO2:Sb雙層薄膜.用紫外-可見光譜、Raman光譜、X射線光電子能譜和X射線衍射對CeO2-TiO2薄膜進行瞭錶徵.結果錶明:在CeO2/TiO2摩爾比為0.5:0.5和0.6:0.4時沉積得到的CeO2-TiO2薄膜為非晶態結構,併具有高的紫外吸收(平均值＞99%)和高的可見光透過率(平均值＞80%).在CeO2-TiO2薄膜錶麵存在Ce4+,Ce3+和Ti4+.對CeO2-TiO2/SnO2:Sb雙層薄膜,除具有高的紫外吸收(平均值＞99%)和可見光透過率(平均值＞75%)性能外,還具有導電性,方塊電阻在80～90 Ω/口之間,電阻率在(3.2～3.6)×10-3Ω·cm之間.該雙層鍍膜玻璃具有截止紫外線和透明導電雙功能.
제비료SnO2:Sb(6%,마이분수)파재화일계렬불동마이비적CeO2-TiO2파재;이소제파재용사빈자공천사법재보통파리기편상침적료CeO2-TiO2단층화CeO2-TiO2/SnO2:Sb쌍층박막.용자외-가견광보、Raman광보、X사선광전자능보화X사선연사대CeO2-TiO2박막진행료표정.결과표명:재CeO2/TiO2마이비위0.5:0.5화0.6:0.4시침적득도적CeO2-TiO2박막위비정태결구,병구유고적자외흡수(평균치＞99%)화고적가견광투과솔(평균치＞80%).재CeO2-TiO2박막표면존재Ce4+,Ce3+화Ti4+.대CeO2-TiO2/SnO2:Sb쌍층박막,제구유고적자외흡수(평균치＞99%)화가견광투과솔(평균치＞75%)성능외,환구유도전성,방괴전조재80～90 Ω/구지간,전조솔재(3.2～3.6)×10-3Ω·cm지간.해쌍층도막파리구유절지자외선화투명도전쌍공능.
