材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
z1期
351-353
,共3页
楼均辉%林明通%陈国荣%杨云霞%肖田%陈晨曦
樓均輝%林明通%陳國榮%楊雲霞%肖田%陳晨晞
루균휘%림명통%진국영%양운하%초전%진신희
Ba0.5Sr0.5TiO3%薄膜%介电性能%沉积温度%退火处理
Ba0.5Sr0.5TiO3%薄膜%介電性能%沉積溫度%退火處理
Ba0.5Sr0.5TiO3%박막%개전성능%침적온도%퇴화처리
采用射频磁控溅射法在ITO/Corning1737玻璃基片上制备了用于无机EL绝缘层厚约700nm的Ba0.5Sr0.5TiO3介电薄膜,研究了沉积温度和退火处理对薄膜介电性能的影响.实验表明,随着沉积温度的升高,薄膜的介电常数、介电损耗、正反向漏电流密度增加,击穿场强下降.对于在500℃下沉积的薄膜在550～700℃、1.8×10-2Pa氧气氛中进行30min退火处理,结果发现在550℃和600℃下热处理介电损耗有所改善,其它参数都劣化;在650℃和700℃下热处理介电常数显著增加,其它性能都变差.
採用射頻磁控濺射法在ITO/Corning1737玻璃基片上製備瞭用于無機EL絕緣層厚約700nm的Ba0.5Sr0.5TiO3介電薄膜,研究瞭沉積溫度和退火處理對薄膜介電性能的影響.實驗錶明,隨著沉積溫度的升高,薄膜的介電常數、介電損耗、正反嚮漏電流密度增加,擊穿場彊下降.對于在500℃下沉積的薄膜在550～700℃、1.8×10-2Pa氧氣氛中進行30min退火處理,結果髮現在550℃和600℃下熱處理介電損耗有所改善,其它參數都劣化;在650℃和700℃下熱處理介電常數顯著增加,其它性能都變差.
채용사빈자공천사법재ITO/Corning1737파리기편상제비료용우무궤EL절연층후약700nm적Ba0.5Sr0.5TiO3개전박막,연구료침적온도화퇴화처리대박막개전성능적영향.실험표명,수착침적온도적승고,박막적개전상수、개전손모、정반향루전류밀도증가,격천장강하강.대우재500℃하침적적박막재550～700℃、1.8×10-2Pa양기분중진행30min퇴화처리,결과발현재550℃화600℃하열처리개전손모유소개선,기타삼수도열화;재650℃화700℃하열처리개전상수현저증가,기타성능도변차.
