人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
2期
504-506
,共3页
何斌%陈光华%郜志华%邓金祥%张文军
何斌%陳光華%郜誌華%鄧金祥%張文軍
하빈%진광화%고지화%산금상%장문군
BN薄膜%铍离子注入%霍尔效应
BN薄膜%鈹離子註入%霍爾效應
BN박막%피리자주입%곽이효응
本文应用RF溅射法,在n型Si(100)衬底上制备BN薄膜.首次用离子注入工艺,将铍(Be)离子注入到BN薄膜中使之成为p-型.我们用范德堡方法对该薄膜进行了室温下的霍尔效应测量,薄膜为P型导电,电阻率为10-3Ω·cm左右,迁移率14～28 cm2/V·S,载流子浓度1019～1020cm-3,霍尔系数10-1cm-3/C左右,用此法制备的P-BN/n-BN异质结,有明显的整流特性.
本文應用RF濺射法,在n型Si(100)襯底上製備BN薄膜.首次用離子註入工藝,將鈹(Be)離子註入到BN薄膜中使之成為p-型.我們用範德堡方法對該薄膜進行瞭室溫下的霍爾效應測量,薄膜為P型導電,電阻率為10-3Ω·cm左右,遷移率14～28 cm2/V·S,載流子濃度1019～1020cm-3,霍爾繫數10-1cm-3/C左右,用此法製備的P-BN/n-BN異質結,有明顯的整流特性.
본문응용RF천사법,재n형Si(100)츤저상제비BN박막.수차용리자주입공예,장피(Be)리자주입도BN박막중사지성위p-형.아문용범덕보방법대해박막진행료실온하적곽이효응측량,박막위P형도전,전조솔위10-3Ω·cm좌우,천이솔14～28 cm2/V·S,재류자농도1019～1020cm-3,곽이계수10-1cm-3/C좌우,용차법제비적P-BN/n-BN이질결,유명현적정류특성.
