压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2010年
4期
629-630,633
,共3页
郑泽渔%汤劲松%朱昌安%周勇%王宗富
鄭澤漁%湯勁鬆%硃昌安%週勇%王宗富
정택어%탕경송%주창안%주용%왕종부
氧化锌%压电薄膜%溅射%声体波
氧化鋅%壓電薄膜%濺射%聲體波
양화자%압전박막%천사%성체파
在只有一个靶源的情况下,利用改良的夹具,在钇铝石榴石(YAG)晶体的两端用反应磁控溅射法同时溅射生长ZnO压电薄膜.对ZnO压电薄膜做了X一射线衍射(XRD)分析,测试了用双面方法制作的声体波薄膜换能器的回波损耗.结果表明,采用双面共溅工艺生长ZnO压电薄膜有效地解决了第一端换能器压电性能退化的问题,提高了两端换能器压电性能的一致性,提高了生产效率.
在隻有一箇靶源的情況下,利用改良的夾具,在釔鋁石榴石(YAG)晶體的兩耑用反應磁控濺射法同時濺射生長ZnO壓電薄膜.對ZnO壓電薄膜做瞭X一射線衍射(XRD)分析,測試瞭用雙麵方法製作的聲體波薄膜換能器的迴波損耗.結果錶明,採用雙麵共濺工藝生長ZnO壓電薄膜有效地解決瞭第一耑換能器壓電性能退化的問題,提高瞭兩耑換能器壓電性能的一緻性,提高瞭生產效率.
재지유일개파원적정황하,이용개량적협구,재을려석류석(YAG)정체적량단용반응자공천사법동시천사생장ZnO압전박막.대ZnO압전박막주료X일사선연사(XRD)분석,측시료용쌍면방법제작적성체파박막환능기적회파손모.결과표명,채용쌍면공천공예생장ZnO압전박막유효지해결료제일단환능기압전성능퇴화적문제,제고료량단환능기압전성능적일치성,제고료생산효솔.
