基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备
기우시간공후리자속천사기술적관대감반막제비
Fabrication of broadband antireflection coating based on ion beam sputtering deposition technique with time-power monitoring
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2011年 2期 407-411 ,共5页

    刘华松%王占山%季一勤%沈正祥%马彬%程鑫彬%焦宏飞%陈德应%刘丹丹%宋洪君

    류화송%왕점산%계일근%침정상%마빈%정흠빈%초굉비%진덕응%류단단%송홍군

    宽带减反膜%离子束溅射%时间-功率控厚%膜层厚度修正 寬帶減反膜%離子束濺射%時間-功率控厚%膜層厚度脩正
    관대감반막%리자속천사%시간-공솔공후%막층후도수정
    为了制备满足设计要求的宽角度、宽波段减反膜,利用离子束溅射沉积技术,在时间-功率控厚的模式下,对膜层沉积速率进行了精确修正.在实验中,利用时间一功率控厚的离子柬溅射沉积技术,选择HfO2和SiO2作为高低折射率组合,在超抛ZF6玻璃基底上制备了宽角度、宽带减反膜,通过对实验后的透过率光谱曲线的数值反演计算,获得膜层厚度修正系数,初步得到了沉积速率随沉积时间变化的规律.利用修正后的沉积参数制备设计的膜系,在0°～30°入射角度下,600～1200 nm波段的平均透过率达到99%以上.
    위료제비만족설계요구적관각도、관파단감반막,이용리자속천사침적기술,재시간-공솔공후적모식하,대막층침적속솔진행료정학수정.재실험중,이용시간일공솔공후적리자간천사침적기술,선택HfO2화SiO2작위고저절사솔조합,재초포ZF6파리기저상제비료관각도、관대감반막,통과대실험후적투과솔광보곡선적수치반연계산,획득막층후도수정계수,초보득도료침적속솔수침적시간변화적규률.이용수정후적침적삼수제비설계적막계,재0°～30°입사각도하,600～1200 nm파단적평균투과솔체도99%이상.
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