太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2003年
z1期
21-23
,共3页
纳米硅薄膜%异质结%光电性能
納米硅薄膜%異質結%光電性能
납미규박막%이질결%광전성능
该文介绍了使用改进的PECVD薄膜沉积设备,制备出掺杂氢化纳米硅(nc-Si:H)薄膜,并在此基础上制备了纳米硅/晶体硅(nc-Si/c-Si)异质结;研究了其光学和电学特性.实验表明nc-Si/c-Si异质结具有良好的光电转换性能和稳定性,适用于制造太阳电池.
該文介紹瞭使用改進的PECVD薄膜沉積設備,製備齣摻雜氫化納米硅(nc-Si:H)薄膜,併在此基礎上製備瞭納米硅/晶體硅(nc-Si/c-Si)異質結;研究瞭其光學和電學特性.實驗錶明nc-Si/c-Si異質結具有良好的光電轉換性能和穩定性,適用于製造太暘電池.
해문개소료사용개진적PECVD박막침적설비,제비출참잡경화납미규(nc-Si:H)박막,병재차기출상제비료납미규/정체규(nc-Si/c-Si)이질결;연구료기광학화전학특성.실험표명nc-Si/c-Si이질결구유량호적광전전환성능화은정성,괄용우제조태양전지.
