半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2004年
1期
9-12
,共4页
茅惠兵%杨昌利%忻佩胜%彭德艳%朱自强%赖宗声
茅惠兵%楊昌利%忻珮勝%彭德豔%硃自彊%賴宗聲
모혜병%양창리%흔패성%팽덕염%주자강%뢰종성
微电子机械系统%可调式光衰减器%固有频率
微電子機械繫統%可調式光衰減器%固有頻率
미전자궤계계통%가조식광쇠감기%고유빈솔
主要讨论了具有机械式抗反射开关(即MARS)结构的新型微机械可调式光衰减器.MARS结构可调式光衰减器由表面微机械工艺制备.当器件被正弦信号激励时,其响应信号也是正弦信号,但两者的相位相反. 同时,微机械可调式光衰减器有一系列的固有频率.测量表明,器件反射率的上升时间为5 μs,下降时间为3.3 μs.如果器件由线性变化的锯齿信号驱动,当驱动信号小于23 V时,器件的反射率变化也是线性的,当驱动信号大于23 V时,器件的反射率响应出现非线性,信号越大,非线性越明显.
主要討論瞭具有機械式抗反射開關(即MARS)結構的新型微機械可調式光衰減器.MARS結構可調式光衰減器由錶麵微機械工藝製備.噹器件被正絃信號激勵時,其響應信號也是正絃信號,但兩者的相位相反. 同時,微機械可調式光衰減器有一繫列的固有頻率.測量錶明,器件反射率的上升時間為5 μs,下降時間為3.3 μs.如果器件由線性變化的鋸齒信號驅動,噹驅動信號小于23 V時,器件的反射率變化也是線性的,噹驅動信號大于23 V時,器件的反射率響應齣現非線性,信號越大,非線性越明顯.
주요토론료구유궤계식항반사개관(즉MARS)결구적신형미궤계가조식광쇠감기.MARS결구가조식광쇠감기유표면미궤계공예제비.당기건피정현신호격려시,기향응신호야시정현신호,단량자적상위상반. 동시,미궤계가조식광쇠감기유일계렬적고유빈솔.측량표명,기건반사솔적상승시간위5 μs,하강시간위3.3 μs.여과기건유선성변화적거치신호구동,당구동신호소우23 V시,기건적반사솔변화야시선성적,당구동신호대우23 V시,기건적반사솔향응출현비선성,신호월대,비선성월명현.
